优势：

• 半导体设备用静电卡盘ESC（Electrostatic Chuck） 用于晶圆的固定及温度控制，优势包括：表面平整度好、吸附力均匀、温度控制精度高、均匀性好，有效减少颗粒度污染，可用于真空环境，适用于多种半导体工序：如刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中

陶瓷真空吸盘主要由微孔陶瓷和框架组成，也可以称为多孔陶瓷卡盘：

• 陶瓷真空吸盘： 主要用于减薄、划片、印刷、晶圆检测、LED等领域，具有平面度、平行度高、组织致密均匀、强度高、不掉渣、透气性好、吸附力均匀等特点