优势：
Structure
尝试左右拖动
CHARACTERISTIC
Material Parameters
Thermal Properties 热特性
Adsorbability吸附力
≧ 50gf/cm²
Operating Temperature工作温度
100℃ - 250℃
Heating Temperature加热温度
Particle Residue颗粒物
Positive Particles (＞φ120μm) Value Added ＜ 10 pcs
Surface Roughness表面粗糙度
<0.1um
Working Condition工作环境
＜ 1x10⁻⁷ Torr.
Gas Leakage Rate气体泄漏率
＜ 7sccm
