静电卡盘ESC
关键词：
产品
新闻
下载
半导体设备用静电卡盘ESC（Electrostatic Chuck）
半导体设备用静电卡盘ESC（Electrostatic Chuck） 用于晶圆的固定及温度控制，优势包括：表面平整度好、吸附力均匀、温度控制精度高、均匀性好，有效减少颗粒度污染，可用于真空环境，适用于多种半导体工序：如刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中
关键词：
最新产品
联系我们
总公司地址:广东省河源市源城区埔前镇滨江路西边,高新五路南边广东国研新材料有限公司
东莞公司地址:广东省东莞市常平镇司马村工业区
外贸联系人: Vanik Chiu
联系电话: 13712980727
国内联系人：何峰斌
联系电话: 13620089996
业务联系人:陈小姐
联系电话: 13066103172
邮箱：gm@kymch.com
